β-氧化镓（β-Ga 2 O 3 ）是一种前景广阔的超宽禁带半导体，在下一代功率电子器件中具有巨大潜力。然而，β-Ga 2 O 3 的一个致命弱点是其极低的热导率，这导致器件在运行中产生严重的自热效应，限制了其在高功率应用中的性能和可靠性。金刚石具有超高的热导 ...

本研究通过射频磁控溅射技术在p型硅基底上沉积纳米ZnO薄膜，采用X射线光电子能谱(XPS)精确测定ZnO/Si异质结的价带偏移量(ΔEv ...

The electrostatic chuck (ESC) is a core component in semiconductor manufacturing equipment that enables precise fixation of wafers. It replaces traditional mechanical fixtures with Coulomb force ...

由日本九州大学、日本国家先进工业技术研究所 (AIST)、九州工业大学、埃及阿斯旺大学和日本日埃科技合作中心 (E-JUST 中心) 的组成的联合研究团队，报道了“利用射频磁控溅射在单晶金刚石（111）晶圆上异质外延生长β-Ga2O3薄膜”相关研究成果，该研究有助于 ...

磁控溅射镀膜是一种先进的物理气相沉积（PVD）技术，其核心在于利用溅射效应将靶材原子转移到基材表面，从而形成薄膜。溅射效应是指当高能离子撞击固体表面时，靶材表面原子被击出并散射的现象。 在磁控溅射过程中，首先在真空腔体中引入惰性气体 ...